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CF係列真空法蘭為超高真空的應用，CF真空法蘭利用銅墊片和法蘭刀口來實現真空密封功能。CF真空封蓋有各種型式,有固定與可旋轉式,而螺栓孔又有所謂有螺紋孔與直通孔之分。
