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平麵陰極實物

詳細說明

平麵陰極實物

平麵陰極實物

平麵陰極,包含靶材、殼體、設置在殼體內的軟鐵底板、設置在軟鐵底板上的磁陣,靶材位於所述磁陣的上方,所述磁陣包含N組並沿軟鐵底板的橫向進行豎直的等距排列;所述磁陣包含:形成在軟鐵底板上的環形跑道、設置在軟鐵底板上被環形跑道所包圍的第一磁鐵、設置在軟鐵底板上用於包圍環形跑道的第二磁鐵;所述磁陣還包含:設置在環形跑道內用於隔離並固定第一磁鐵和第二磁鐵的鋁塊;其中,被鋁塊隔離的第一磁鐵和第二磁鐵的極性相反。同現有技術相比,由於需鍍膜襯底在經過靶材上方的過程中需要通過多個磁陣形成的刻蝕跑道,從而使得靶材上濺射出的離子或原子會反複的覆蓋在襯底的表麵形成薄膜,以此來提高襯底鍍膜的速度。

時間:2015-4-24 0:00:00

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