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平麵陰極

詳細說明

平麵陰極

平麵陰極特點:

1、 采用獨特的磁路設計,突破傳統模式,更符合磁控濺射的理念。
2、 采用獨特的結構設計,可以內置、外置,更符合使用要求。
3、磁鐵不被冷卻水包圍,減少腐蝕,且保證磁力線的有效曲線分布。
4、獨特的布氣方式,更加保膜層濺射的均勻性,其等離子狀態更加平衡。
5、 更高的濺射率,離子密度更強。
6、 更高的利用率,高達40%以上。
7、 尺寸範圍:可在300-3000mm區間,保持一致的均勻性
8、使用範圍:如TI、AL、NI、CR、AZO、ITO等

時間:2015-4-24 0:00:00

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